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平行平晶平面度测量结果的不确定度评定

作者: 王世婕 来源:内蒙古科技与经济 日期: 2024-07-29 人气:11
平行平晶平面度测量结果的不确定度评定
对JJG28-2000《平晶检定规程》中以等厚干涉法检定Φ100mm平面平晶工作面平面度的方法进行了分析、评定,得出了平面度的测量结果不确定度。

工作平晶平面度测量不确定度评定

作者: 刘丽娟 来源:中国测试技术 日期: 2023-02-28 人气:7
工作平晶平面度测量不确定度评定
本文对JJG28-2000<平晶>中以等厚干涉法检定工作平晶(D30mm~100mm)平面度的方法进行了分析、评定,得出了平面度的测量结果不确定度.
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