设计了一个半导体激光自混频干涉式测量物体振动速度的实验，利用双镜F-P（法布里-珀罗）等效模型，对半导体激光自混频干涉速度仪中的干涉效应进行了理论分析，推导了干涉信号理论模型的数学表达式，讨论了影响测量信号的因素。结果表明，在半导体激光自混频干涉速度仪的无源腔中空气密度的变化、无源腔长度的变化、激光波长的变化都将会导致信号漂移，从而引起测量误差。而被测物体表面的反射率越高，越有利于测量。