介绍了Brooks公司生产的5850i型质量流量控制器的测量原理、控制原理以及在COD分析仪中的应用.

本文介绍气体质量流量的测量和控制及微压传感器的原理及应用.

在固态散状物料的加工、存贮和运输过程中,物料流量是一个重要数据。DZ系列质量流量计是用于在线测量粉状、粒状固态物料流量的计量仪表,广泛用于建材、能源、化工、油脂、医药、粮食、冶金、仓储等行业中。 DZ系列质量流量计有三种规格:

    质量流量计(英文缩写为MFM)用于测量气体的质量流量,其测量值不因压力或温度的波动而失准,不需要进行压力和温度修正。对于一般的体积流量计(如转子流量计),在相同的体积流量指示下,当压力、温度改变时,其实际克分子流量会发生较大变化,而质量流量计则基本不受影响。例如当气压相对标准压强增加0·1MPa时,对体积流量计,其实际克分子流量将变化一倍,而对质量流量计,仅变动0·14%F.S。     流量控制器(英文缩写为MFC)不仅能测量气体的流量,具备流量计的功能,而且它还能控制流量,它本身具有检测控制电路和流量调节阀,是一个闭环控制单元。用户可以根据需要在流量范围内任意给定流量设定值,MFC会自动跟踪设定值而改变流量并稳定在设定值上。

提出了一种基于高精度质量流量控制器的动态配气方案,并给出了系统操作时序流程图。着重阐述配制标准气体原理、配气过程中的不确定度及其改善措施。针对气体流量控制的时变非线性、难以建立数学模型的特点,采用模糊控制算法对气体流量进行控制,提高了配气精度。该系统可连续配制、并供给浓度值连续可调的多元混合标准气体。