本文提出了单模光纤探针式光学轮廓仪的构成及工作原理，重点分析了光纤探针的基本理论，导出了理想状态下光纤探讨与被测表面的耦合效率，分析了光纤探针扫描时表面轮廓对语效率的调制原理，给出了单模光纤探针探头的基本结构，在实验中用单模光纤探针式光学轮廓仪实验装置进行了测试，给出了实验结果的误差分析，并与多模光纤探针的测试结果进行了比较

所述的光学轮廓仪是利用双焦透镜产生的偏振光束经被检面反射后形成了一共路干涉体系，因此该干涉体系可对超光滑表面做非接触无损检测而无需标准参考面；同时，利用双通道电子共模抑制技术可有效地抑制系统的各类噪声；计算机控制测量，即时给出表面粗糙度参数，测量结果与计量用ＷＹＫＯ轮廓仪比对，结果吻合。仪器特别适合于均方程极值Ｒｑ为纳米及亚纳米量级的表面的测试，尤其是软质金属材料及膜层表面。其横向分辨率为１μｍ，纵向分辨率为０．１ｎｍ。