提出了一套对椭偏仪的测量误差进行有效修正的方案，设计了一个Windows版的椭偏仪测厚数据处理软件，并在该软件中嵌入了对测量数据的误差进行修正的方法，使椭偏仪的最终测量结果更加精确。制作了30片厚度梯度分布的标准样片（厚度20nm～1μm），用于从“软”、“硬”件两个方面对椭偏仪进行误差修正，使最终的误差小于1％。本文所提出的修正方案具有一定的普适性、实用性。

为了能精确地自动测量He-Ne激光波长和透明薄膜厚度,采用单片机驱动步进电机带动迈克尔干涉仪的微调手轮转动,使光屏上产生稳定变化的干涉条纹,用光电二极管检测条纹信号光强变化,通过光电转换电路将光信号转变为电信号,输入到单片机进行处理,测量结果自动显示在液晶屏上。在一般实验环境下进行了多次实验,将实验结果与标准值进行比较得出,改造后的仪器测量微小长度速度快,误差小,精确度高。

为了能精确地自动测量He-Ne激光波长和透明薄膜厚度,采用单片机驱动步进电机带动迈克尔干涉仪的微调手轮转动,使光屏上产生稳定变化的干涉条纹,用光电二极管检测条纹信号光强变化,通过光电转换电路将光信号转变为电信号,输入到单片机进行处理,测量结果自动显示在液晶屏上。在一般实验环境下进行了多次实验,将实验结果与标准值进行比较得出,改造后的仪器测量微小长度速度快,误差小,精确度高。