介绍一种用于检定“智能大直径测量仪”的装置。该装置采用光电瞄准、光栅检测系统进行非接触测量，不权结构简单，使用方便，而且具有较高的测量精度。

计量光栅作为一种重要的传感器件,广泛应用于工业生产的诸多领域.系统介绍了计量光栅的种类,重点介绍了国内外光栅制造的主要方法、光栅复制工艺以及衡量光栅质量的基本指标和检测方法.

高精度工作台控制系统是现代自动显微系统的重要组成部分,其精度直接影响显微镜对样品的检测质量.介绍了一种基于AT89C52单片机的显微镜工作台闭环控制系统的设计方案.工作台移动时作为检测元件的光栅输出脉冲信号.单片机控制电路实现脉冲的计数并计算误差值,控制步进电机进行反馈补偿.步进电机通过细分驱动模块可以以四种不同的步距驱动工作台移动,以实现显微镜对工作台移动速度的不同需要.8位数码管实时显示工作台移动的实际位置.实验结果表明,该系统的重复定位精度可达到0.020mm,可满足显微镜对控制工作台的要求.

高精度扫描控制系统是现代扫描显微系统的重要组成部分，它影响着扫描显微镜对样品的扫描成像质量。提出了一种基于光栅检测的单片机闭环扫描控制系统的设计方案。该系统采用PC上位机发送指令，下位单片机控制扫描工作台的移动，光栅作为检测元件输出脉冲信号。单片机控制电路实现脉冲的计数并计算误差值，控制步进电机进行误差补偿。步进电机的硬件细分驱动，实现了步距2细分、4细分、8细分。实验结果表明该系统的重复定位精度达到0．005mm，满足扫描显微镜对扫描控制系统的要求。