设计了基于硅塑性变形的垂直梳齿驱动器,中央可动微镜由四组蛇形曲折梁支撑。驱动器的制作采用硅—硅键合技术,首先利用DRIE干法刻蚀技术释放可动梳齿与固定梳齿,然后通过各向异性湿法腐蚀制作的施压凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确自对准,最后利用硅塑性变形使可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,成功制作出在Z方向依靠位错梳齿实现垂直驱动的蛇形梁静电梳齿驱动器。

采用降阶建摸为静电梳齿驱动执行器开发了一个二维有限元模型，将梳齿驱动器简化为一组等价的集总参数单元，各单元均体现了对应器件的静动态特性和输入输出特性，降阶得到的模型降低了计算的复杂程度，提高了计算的速度．对采用降阶模型法所建立的模型仿真，得出梳齿驱动执行器的驱动位移、静电力与结构参数和所施加电压关系的仿真结果．该方法能以较快的速度求解静电一结构耦合问题，所得结果与有限元解相比较，最大位移误筹小于5％．