集成电路是现代信息社会经济发展的基础和核心,文章从IC产业的发展过程和现状出发,指出MEMS的微连接和系统组装已成为影响MEMS发展的关键技术.结合国内外用于MEMS系统微组装的高速高精度定位系统的研究现状与趋势提出,研发面向MEMS加工的高速高精度定位系统是推动MEMS发展的重要基础.