为了满足光学及精密机械领域精密测量的要求，提高微位移器位移量的测量精度，在对传统的接触式干涉仪改造的基础上，采用空间频域算法计算出了白光干涉图零级条纹的中心位置，并根据零级条纹中心的移动量得到待测的微位移量。该方法能够测量连续和阶跃变化的位移量。实验以压电陶瓷微位移装置（PZT）为例，测试了其电压-位移曲线，测量重复性达到1nm。结果表明，该方案稳定有效，不易受噪声和色散的影响，测量重复性好。

白光扫描干涉测量是光学测量中一种非常重要的方法。在干涉仪的结构中，光源的光谱宽度及扫描步长一定时，选择合适的算法对干涉信号进行处理能够达到更高的测量精度。对重心法、移相法、包络曲线拟合法、空间频域算法分别加以介绍和比较，为白光干涉信号的算法提供详尽的参考。