本文研究了ISO10110—5表面面形评价参数的算法，建立了与ISO10110—5相应的数字波面分解模型；运用自编的波面拟合程序，完成了泽尼克系数、赛德像差系数、峰谷值、均方根值等常用评价参数和ISO10110—5中提出的弧矢误差、不规则误差、旋转对称不规则误差等参数的计算；通过对同一组波面数据的分析比较，自编程序的计算结果与ZYGO干涉仪的输出结果相一致。