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激光干涉仪的计量保证方案研究

作者: 岳峰 陈凌峰 任建荣 沙定国 来源:光学仪器 日期: 2023-12-05 人气:2
激光干涉仪的计量保证方案研究
首先简要介绍了计量保证方案的基本实施过程,在此基础上提出了针对激光数字波面移相干涉仪的计量保证方案,内容包括核查标准和传递标准的设计,过程统计参数的建立,测量不确定度评定等三个方面.该方案的运行极大地增强了实验室对干涉仪性能状况的了解,提高了测试结果的可信度.
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