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基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器的研究

作者: 孙立宁 荣伟彬 曲东升 高振国 楼朝飞 蔡鹤皋 来源:光学精密工程 日期: 2023-08-18 人气:10
基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器的研究
根据仿生学原理,采用分立式布局,研制出大行程高分辨率旋转微驱动器.该微驱动器采用电磁铁箝位、压电陶瓷驱动的爬行式步进机构形式,实现了光学镜面的二维微调整操作.实验表明,该微驱动器具有分辨率高、行程大、步距可变等特点,也适用于其它微操作中大行程高分辨率的旋转驱动.
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