基于体硅工艺的微反射镜具有体积小、质量轻、驱动电压低、偏转角度大等优点，在激光敌我识别和光通信等领域都有着广泛的应用。该文设计了一种基于体硅工艺的微反射镜，其偏转角度可以通过驱动电压控制；对这种结构建立了理论模型，对吸合电压、吸合角度和固有频率进行了分析；简要介绍了这种微反射镜的加工工艺；并对微反射镜样机做了原理性实验研究。微反射镜镜面面积为1240／Lm×980／Lm，最大偏转角度约为2．6°，吸合电压约为27V，固有频率为750Hz左右。