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> 高速压电倾斜反射镜
高速压电倾斜镜动态特性分析
作者:
张小军
凌宁
来源:
强激光与粒子束
日期: 2023-04-19
人气:5
介绍了高速压电倾斜镜的结构和工作原理,根据拉格朗日方程建立了高速压电倾斜镜转动的运动微分方程,推导了其固有频率的解析式,并以有限元模型与实测结果作了比较,证明所推导的理论模型是可信的,它对高速压电倾斜镜的结构设计具有指导意义.
关键词:
高速压电倾斜反射镜
压电驱动器
动态分析
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