外差信号处理系统是外差干涉测量系统精度测量的重要组成部分。为了实现外差干涉的相位移测量，采用一种整数计数和小数计数相结合的外差信号相位测量方法，利用VERILOG语言编写整数计数以及小数计数模块程序，并进行了仿真验证，理论分析测量分辨率为（11π／375）rad。结果表明，该方案硬件实现电路简单、可移植性强，只需一个基于现场可编程门阵列的最小系统即可实现。