根据表面散射光角分布与表面粗糙度具有一一对应关系的原理，提出一种便携式的光辉表面粗糙度检测装置。它采用半导体激光器，光学纤维和更合理的光路结构，具有功耗低，抗干扰能力强，稳定性好，测量范围大，体积小，成本低等特点。

     始于60年代后期的超精加工技术，如今已在许多领域得以实用化;而超精密测量技术，则是评价超精加工技术的必不可少的手段。