利用神光Ⅱ上激光与等离子体相互作用得到的软X光，建立了基于多层镜的四通道软X光单色器系统。研究了光源的性能，测量了光源强度、单色器系统稳定性、相应通道的一致性。研究表明，采用多层镜作为脉冲光源的分光元件，可以得到具有较好单色性的强脉冲软X光标定源。光源的光子能量为253eV和820eV，两能道的光源强度分别为1．8×10^19photon／（scm^2）和3．2×10^19 photon／（scm^2）。在该标定源上可以实现XRD、平面镜、多层镜、透射光栅和滤片的标定。