近年来，以使用半导体制造工艺的微小机械的研究为开端，世界各国积极开展微机械的研究。但是各国各有特点，美国以大学为中心开展以静电微电机为代表的硅微机械的基础研究。欧州以法国为中心利用LIGA工艺技术积极进行微传感器和执行机构的开发工作。日本大学，国家研究机构和企业也在积极进行微机械的研究。