伴随着计算机技术的迅速发展，在近15年中x射线能谱仪及其分析方法突飞猛进。从1984年开始第三代的能谱仪间世，虽然它不仅可从事微区元素分析，而且可以进行图像处理和图象分析，成为发展最快使用最广的微区分析仪器。但是在超轻元素的分析、对谱线重叠的元素的定性分析、图像处理和图像分析的功能和速度方面还存在一系列间题有待改进。