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高gn值微加速度计的设计

作者: 祁晓瑾 刘俊 石云波 来源:传感器与微系统 日期: 2023-02-03 人气:7
高gn值微加速度计的设计
设计了一种新型四梁压阻式MEMS高gn(gn=9.8m/s^2)值加速度计,其量程为0~150000gn,抗冲击200000gn,横向灵敏度小于6%。根据设计指标及强度条件对结构参数进行了优化设计,并进行应力分析、抗冲击分析、横向效应分析以及灵敏度分析。同时,利用有限元分析软件,对模型进行了静态应力分析和模态分析,给出了具体的分析结果,并与理论值加以比较,从而使该高gn值加速度计的结构分析和设计更加合理。
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