针对氧化锆陶瓷钻削微孔过程中出现的轴向力大和出口崩边严重的问题,使用直径为0.2 mm的金刚石涂层钻头钻削完全烧结的氧化锆陶瓷微孔,通过单因素试验方法,研究主轴转速、进给速度和步进距离对轴向力的影响,在此基础上开展啄钻工艺对比试验,探索变进给啄钻工艺对出口崩边尺寸的影响。结果表明:轴向力大小随着进给速度和步进距离的增加而增大,随着主轴转速的增加先降低后增大;采用变进给啄钻可以有效提高孔出口加工质量。