对静力单轴试验机（试验系统）控制器的基本要求、设计控制器需注意的问题、检测控制器时应考虑的事项等方面进行了探讨。

文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势.

对傅里叶变换光谱仪实验及设计进行了研究与探讨，介绍了傅里叶变换光谱仪实验的测量原理及仪器构造，运用 XGF-1 型傅里叶变换光谱仪测量了几种常见光源及激光器的干涉图，通过傅里叶变换后得到光谱图，并对光谱图进行了分析与讨论。在分析光谱图及测试的基础上，对系统的整体操作、仪器的构造、分辨率的提高等方面提出了几种可行的光谱仪的改进方案。

描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜（ＳＮＡＭ）。其原理是利用谐振频率为１ＭＨｚ的未封装伸长型晶振作为微力传器逼近样品表面，在此过程中晶振受到流体阻尼，振动特性发生变化，通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌的信息。在分析了ＳＮＡＭ的检测机理基础上，设计了ＳＮＡＭ系统，测量时垂直分辨率可达到纳米级。

<正> 虽然理论上很多单色仪在软X射线波段的分辨本领E/ΔE可以达到10~4量级,但实际上只有几种单色仪能达到这么高的分辨率水平,它们是球面光栅单色仪、SX—700型单色仪及这两种单色仪的改进型。意大利的Trieste同步辐射光源上的精密电子光化学分析项目将用这类高分辨率的谱仪进行光电子谱实验。在这条光束线上采用了改进型SX—700单色仪原理,其结构由Jark提出,它能与波荡器很好地匹配,并在100eV～2000eV范围内做最佳调节。这条束线的所有光学元件的安装于1993年底完成,并在次年一月

设计、研制了一种基于光纤-镜面干涉腔的光纤加速度计。介绍了该加速度计的传感原理及弹性结构设计,并对其性能进行了实验测试。该加速度计用固定于圆网状弹性结构上的硅微反射镜与处理过的光纤端面构成光纤-镜面干涉腔来产生相位差随外界加速度改变的光干涉信号;采用相位生成载波技术通过对干涉信号的调制和解调实现对相位差的精确测定。应用工程软件Cosmosworks（Solidworks）对该加速度计弹性结构的灵敏度进行了理论分析,并与样机测试比较。结果表明,该光纤加速度计的灵敏度为63.2rad/g,共振频率为160Hz,分辨率为4μg而动态范围接近108,结果与理论分析符合得较好。该加速度计不仅结构简单,还集成了多维加速度计的优势。

讨论了影响飞行时间质谱仪分辨率的因素，包括基质辅助激光解吸离子化所产生的对分辨率的影响因素。参照近代文献资料，提出了自行设计制造的飞行时间质谱仪的基本设计方案，指出这种仪器在我国的应用前景。

为满足空间紫外遥感高精度光谱辐射测量工作的要求，设计了一种Ebert-Fastie型双层结构平面全息光栅双单色仪，由球面准直聚光镜、平面和屋脊转向镜、平面全息光栅及入射、出射和中间狭缝组成，扫描波长范围160～400nm。这种双层结构的特点在于两块完全相同的平面全息光栅安装在同一转轴上做到同轴转动，不但把机构基本上简化为一个单色仪的结构，而且确保了两块光栅同步地进行光谱扫描，色散相加，光谱分辨率小于0．15nm。此外，前后两单色系统被隔成基本封闭的腔体，用来割断两单色系统杂散光之间的相互影响，抑制整个系统的杂散光，整个系统的杂散光水平可达10^-6，满足空间紫外遥感高精度光谱辐射测量的要求。

本文介绍了一种新型的红外线温度传感器的测量原理．设计制作和实验结果。其基本机构是利用高糈度红外位移传感器测量随温度的变化热膨胀系数较大的有机玻璃长度．我们通过运用灵敏度为0．001℃的高精度石英温度计对其校准．这种仪器的温度测量精度可以达到℃数量级，比较市场上现有的温度传感器，其灵敏度和线性度都有较大的优势，具有广泛的应用前景。

针对单级驱动系统难以同时实现大行程与超精密定位的问题,设计一种基于滚珠丝杠与液体静压导轨的超精密大行程进给系统实验台。无框式直驱电机通过胀紧套直接与滚珠丝杠联接,实现类似于直线电机的“零传动”,采用纳米级分辨率光栅尺实时检测运动部件的位移。实验结果表明:通过G代码补偿、摩擦补偿、提高PWM频率、降低干扰等方式,可以提高系统的定位性能,进给系统在180 mm的有效行程内可以实现103 nm定位精度和8 nm运动分辨率。