提出一种沿长度方向突变的变截面直梁压电振子结构,该振子能保证输送工作台面上各质点振幅均匀一致。由于振子具有结构对称性,可在空间上实现两个互相垂直的同阶弯曲模态（近似同频）,这两个模态的叠加使工作面上各质点做可更改运动参数的椭圆运动。应用悬臂梁结构研制了一个毫牛量级的微力测试装置,完成输送振子微小摩擦驱动力的测试。对微摩擦驱动力的主要影响因素进行了实验分析。实验结果表明,工作面质点椭圆运动轨迹的长轴在水平面上比在铅垂面上时更有利于物料的超声振动输送。振子振幅增大时,振子对试件的摩擦驱动力也相应增大;当振子两个方向振动的速度相位差从0°~90°增大时,摩擦驱动力呈增大趋势。

描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜（ＳＮＡＭ）。其原理是利用谐振频率为１ＭＨｚ的未封装伸长型晶振作为微力传器逼近样品表面，在此过程中晶振受到流体阻尼，振动特性发生变化，通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌的信息。在分析了ＳＮＡＭ的检测机理基础上，设计了ＳＮＡＭ系统，测量时垂直分辨率可达到纳米级。