<正> 1.介绍高精度光学组件的测量几乎总是在清洁的实验室里,在温度和声音很稳定的环境中,在通常大气压进行的。一些同步辐射(SR)用的光学 组件要承受每毫米几瓦的高热载荷,因此,要在类似于实际使用的条件下进行测量,即要在一个拥挤的、噪声的大厅中,在超高真空、高热载荷条件下进行测量。这些条件显然与传统可见光干涉测量条件是不可比拟的。但是,为了验证反射镜理论计算的性能和为了监测可能由于冷

根据大型轻质镜加工过程中的受力情况,用有限元对镜子进行静力学分析和计算.分别计算了镜子的自重、磨盘正压力、磨盘剪切力等对镜面变形的影响情况.根据镜面变形规律设计了一系列支撑结构,最终确定了符合面形质量要求的支撑结构.