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非接触式承片台流体动力学仿真分析

作者: 谷德君 陈波 孔繁久 来源:机械工程师 日期: 2021-03-22 人气:126
非接触式承片台流体动力学仿真分析
介绍了一种伯努利原理非接触式承片台设计的新方法,即使用流体动力学软件对承片台的结构和性能进行分析,并详细叙述了承片台结构网格的划分方法。根据仿真结果对其结构进行改进设计,设计产品最终达到了良好的使用效果。
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