提出一种新的基于循环式径向剪切干涉术的波前重建算法,以此模拟计算了不同放大倍数下波前的还原结果与还原精度,得出不同放大倍数下采用本算法都能还原出原始波前且还原精度相差不大的结论.同时在基于伽利略望远系统的循环式径向剪切干涉仪上测量了激光系统输出中存在台阶结构的畸变波前,得出了与此基本一致的结论.

从基于DDSOG（Deep Dry Silicon on Glass）工艺的硅微谐振式加速度计样机入手,阐述了加速度计中微杠杆结构对惯性力的放大作用,证明了标度因数与系统放大倍数n为正比关系,并以加速度计样机中的单级微杠杆为例,建立了加速度计的理论模型。推导了微杠杆的放大倍数A和轴向刚度K的计算公式,以此为基础导出了加速度计系统放大倍数n的计算方法。依据公式计算得到加速度计样机的系统放大倍数n的理论值为21.820,并用有限元方法对理论值进行了仿真验算,得出n的仿真值为19。最后对加速度样机进行了实际测试,测得加速度计的标度因数为127.33Hz/g,系统放大倍数n为25.466。对所得结果的比较表明,系统放大倍数的理论值与仿真值及实验值的误差分别为14.8%和14.3%,误差在可接受范围内。

伺服阀是运载火箭控制系统的核心元件,大量应用在航空航天等领域。其将小功率的电信号由前置级转变为功率级阀芯的运动,然后通过阀芯的运动控制流向液压作动器的高压液流的方向和大小,最后由作动器的活塞杆推动发动机(舱)摆动,控制火箭的飞行轨迹。伺服机构要有非常高的放大倍数以获得静态和动态精度,其实现主要依靠伺服阀。