简述了行波超声马达的基本原理，比较了定复合圆板分析中有限元和典振动理论两种方法的优点。并利用有限元方法分析了定子板在自由状态下的固有频率及固有振型，给出了分析结果。

利用压电陶瓷的逆压电效应,基于步进运动原理和误差补偿技术设计了一种高精度定位的大行程精密直线驱动器,制作了样机,进行了静态特性和幅频特性测试以及运动性能试验,给出了驱动器的移动速度与工作电压、频率之间的试验关系曲线.结果表明:在计算机闭环控制下,驱动器能稳定地实现双向运动,在行程1 mm时,定位精度达士0.01 μm,有效驱动力达13.5 N.

根据步进运动原理,采用分立式布局,提出大行程高分辨率旋转精密驱动器.该精密驱动器采用电磁杠杆柔性铰链箝位,以压电陶瓷为驱动源,利用柔性盘铰链把压电叠堆的直线运动转化成旋转运动,实现了大行程精密步进旋转驱动.实验表明:该驱动器具有钳位牢固、分辨率高、行程大等特点,适用于微操作中大行程高分辨率的旋转驱动.

研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位机构,给出了机构的动力学模型.结合检测装置和微机控制系统,设计并研制了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的复合控制的微定位系统.实验表明,微定位系统定位行程可达100μm,定位分辨力0.01μm.

采用电磁与压电相结合的方式给出了一种直线驱动器,详细介绍了该驱动器的结构与工作原理,并对其牵引力进行了估算与分析;比较了几种典型的驱动器控制信号波形,并选择一种较为合理的波形进行了驱动器性能试验,试验结果表明该驱动器能够可靠地实现双向运动,具有行程大,精度高,易于控制等特点,可用于微定位、微驱动等领域.

在微力微位移装置中采用闭环控制压电作动器实现微位移进给和微力加载，设计了加载机构，建立加载机构的压电作动器输入电压、加载装置输位移和输出力之间的关系。通过电容测位移仪检测输出位移，实验得到加载系统刚度，根据压电作动器输入电压、加载装置刚度，计算出加载力大小。该方法为微机械力学性能测试仪打下了基础。

介绍了压电陶瓷微位移器驱动电源的闭环反馈控制驱动系统的组成和工作原理,并对控制器的硬件系统构成进行了说明.软件采用模块化设计,可根据实际工作场合通过软件设定为开环控制和闭环控制.在数字控制算法d(t)和可控输出稳压电压源的设计上有所突破.通过合理地设计软件算法d(t)来补偿电致伸缩陶瓷h(t)特性上的缺陷.

提出一种新型的直动式一级压电型电液伺服阀，并对其特性进行了分析。针对系统的非线性和不确定性，提出了自适应模糊PID控制方法，有效地满足了实际系统对滑阀位置控制的要求。实验结果表明了新型电液伺服阀相对于传统的电液伺服的性能有了很大的改善。

设计开发了一种结构新颖,制作工艺简单,成本低,综合性能高的烈性药物输注用压电薄膜微型泵,介绍了微泵的结构设计、工作原理和性能测试.微泵具有在出口和人口两个方向上抵抗冲击载荷的能力和互锁的功能,适合于对外界环境要求苛刻的烈性药物输注.微泵不论液体还是气体为工作介质都具有良好的流量特性和较高的可靠性.同心双向阀结构克服了传统的单向阀并联结构两阀间易连通的缺点.高分子聚合物材料和特殊的加工装配工艺使得微泵即使在小批量单件生产的情况下成本依然低廉.因此,该种微泵更加接近实用化,具有广阔的应用前景.

研究建立了超声雾化装置,用激光粒度仪测试了雾化液滴的粒径,并研究了雾化溶液加入量、超声雾化功率、载气流量等雾化参数对超声雾化速率及管路输运损失的影响.结果表明,雾化液滴的粒径约φ2.6 μm.在一定加液量范围内,加液量的变化对雾化速率影响不大,雾化速率随载气流量和雾化功率的增大而增大;而管路输运损失随载气流量的增大先减小,在载气流量为800 cm3/min附近达到最小后,再随载气流量的增大而增大.