介绍了用于超微定位机构的被动隔振系统的研究，给出了超微定位机构和被动隔振系统的数学模型，并设计了被动隔振系统。该被动隔振系统对外介的低频振动干扰振效果良好。

基于平行四边形柔性铰链的狭缝机构由步进电动机带动螺杆旋转，螺母在止转器限制下上下移动，推动导杆楔入柔性铰链使两缝片之间的缝口打开，缝口大小由电涡流传感器测量，反馈给单片机，调整步进电动机的旋转，如此形成一个闭环系统。电涡流传感器输出信号直接反映缝口大小的变化，有效地补偿了机械调节系统的误差对缝宽精度的影响。

柔性铰链以其特殊的性能在精密机械、精密测量、微米技术和纳米技术等领域得到广泛应用.通过对柔性铰链在支撑结构、联接结构、调整机构和测量仪器中的应用,以及柔性铰链与压电致动结合实现超精密位移和定位的典型例子,对柔性铰链的应用作了较全面的介绍.

介绍了一种精度高、性能稳定、结构简单的二维微动工作台微位移机构的工作原理及其设计;着重分析了为消除机构间隙和工作台爬行,提高定位精度和响应速度所采取的技术措施电致伸缩陶瓷驱动、柔性铰链与杠杆放大一体化结构等.

研制了一种六维宏微位移可控精密工作台.设计中采用粗精分离的原则,有利于提高工作台的精度,并减小了研制难度.宏位移使用精密燕尾导轨结构.微定位系统使用了压电陶瓷驱动器、柔性铰链和计算机控制,使系统具有极高精度的补偿定位能力.该工作台可在100mm范围内运动,平移分辨力为0.05(m,转动分辨力为0.3″.

微动平台主要以柔性铰链作为其位移导向机构,但是目前常用的弹片式柔性铰链在作为导向机构时存在严重的应力集中的现象,切口型柔性铰链由于严重的局部变形,在传递较大位移时也会产生很大的应力,而应力太大会严重影响柔性机构的疲劳寿命。运用圆倒角弹片式柔性铰链设计了一维微动平台导向机构,运用卡氏第二定理推导了其导向刚度公式,并研究了导向应力集中系数。通过与有限元分析的对比,导向刚度计算公式的最大误差为2.57%,导向应力集中系数的最大误差为1.7%。

为了提高3自由度并联微定位平台的性能,研究了一种新型的混合柔性铰链微定位平台,它由正圆柔性铰链和直角柔性铰链组成。根据正圆柔性铰链和直角柔性铰链的不同特性,设计出了新型的混合柔性铰链微定位平台。先建立传统的3-RRR柔性铰链微定位平台和新型的混合柔性铰链微定位平台模型。再通过有限元分析软件,比较了新型混合柔性铰链微定位平台和传统的3-RRR柔性铰链微定位平台的柔度和灵敏性。结果表明,混合型柔性铰链微定位平台较传统的3-RRR柔性铰链微定位平台有更好的性能。

柔性铰链作为导向机构在快速刀具伺服装置中得到广泛的应用,柔性铰链的结构参数设计是快速刀具伺服装置设计中的重要部分。针对三自由度串联式快速刀具伺服装置中柔性铰链导向机构设计,提出了基于遗传算法的柔性铰链参数优化设计方法。首先,根据三自由度快速刀具伺服装置工作时的运动特征,建立动力学模型;然后根据精密加工过程中柔性铰链作为三自由度快速刀具伺服装置导向机构应具备的要求,建立使柔性铰链3个方向刚度最大的目标函数以及约束条件;最后运用遗传算法优化设计柔性铰链,得到最优柔性铰链结构参数。