电子柱式气动测量仪示值误差的不确定度评定

简介

电子柱式气动测量仪是一种测量精度高、测量范围大、能非接触测量出微小尺寸变化的精密测量仪器,配上相应的气动测量头,可以测量多种参数。通过用3等量块直接法对分度值为0.2μm电子柱式气动测量仪示值误差进行测量的不确定度评定,表明此方法能够很好的满足气动测量仪示值误差测量的要求。