高精度化学腐蚀工艺在复杂环境下对金属切割的研究

简介

文中从工艺设计上实现了化学腐蚀金属切割技术中的小空间可达性、复杂路径高通过性、操作方式多样性、试剂易获得、气载有害物产生少等技术要求,从结构及控制上实现了化学腐蚀的安全性、高精度性、系统集成化、定点定量腐蚀切割等技术要求。实验结果表明,该工艺可完成复杂环境下金属切割,结构设计和控制装置可实现高安全性、高精度、复杂路径、定点腐蚀切割的要求。