凸轮机构在QFP自动冲切成型系统中的应用

简介

自动冲切成型系统是极大规模集成电路制造装备及成套工艺中的关键设备,文中主要以QFP自动冲切成型系统的分离装盘单元为对象,研究凸轮机构在分离模驱动及产品装盘时步距变换匹配方面的应用。