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一种单晶硅棒末段切割可调头的夹具

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690KB
文件类型
PDF
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简体中文
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简介

介绍了一种用金刚石带锯切割单晶硅棒的夹具,特别是在切除单晶硅棒末段收尾部分,夹具可调头180°。阐述了其工作原理、夹具结构和实际应用。
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