利用PSV-400—M2（1．5MHz）高频型扫描式激光多普勒测振仪，对超声键合装置中受正弦激励、超声加载作用下的键合工具（劈刀），在不同松紧度下的稳态振动进行了连续扫描测试。结果表明，当劈刀连接的松紧度发生改变时，其稳态振动表现出不确定性；同一松紧度下振动形态中出现单节点，但不同松紧度下节点出现的位置不同；劈刀末端的速度振幅并不是人们期望的那样是最大。此外，基于弹性梁

利用激光多普勒测振仪对受正弦激励、超声加载作用下振动的劈刀进行连续扫描测试，得到其稳态振动形态。介绍了一种Hilbert变换的模态分析方法，当仅改变劈刀与变幅杆连接的松紧度时，由试验现象和模拟振动结果发现：当连接松紧度发生变化时，劈刀的稳态振动表现出不确定性；同一松紧度下振动中出现单节点，但不同松紧度下节点出现位置不同；劈刀末端的速度振幅并不是期望的那样是最大。该结论对优化设计超声振动系统、提高超声能量的利用率有一定的意义。

利用扫描式多普勒测振仪，对劈刀的振动形态进行测试，其结果证实了：当改变劈刀与变幅杆联结的松紧程度时，会对其振动的模态振型产生影响；外部输入功率也会随着连接松紧度的改变而发生变化。对劈刀振动的模态振型作进一步的实验研究，将对优化设计超声振动系统、提高超声能量的利用率有重要意义。