介绍了微机电系统（MEMS）中存在的黏附问题，对引起黏附的原因和如何解决黏附问题进行了分析．采用牺牲层腐蚀技术在多晶硅悬臂梁下表面制备类金刚石（DLC）膜，通过扫描电子显微镜（SEM）表征未发生黏附的悬臂梁最长长度．发现村底上有DLC膜时，未发生黏附的悬臂梁最长长度平均约为145μm；而无DLC膜时，平均不到80μm．利用原子力显微镜（AFM）测得DLC膜表面的黏附力在7nN左右，而硅衬底表面的黏附力大约为20nN．实验结果表明DLC膜降低了悬臂梁与衬底之间的毛细引力和固体间黏附力，减轻了多晶硅悬臂梁的黏附．

原子力显微镜是微纳米尺度科学研究中的一个精密仪器，从原理和应用，设备的软件、硬件的扩展都具有很大的发展空间。随微纳机电系统的应用，非常迫切需要开发基于原子力显微镜的力学相关测试系统。在此情况下，着重开发部分相关力学测试软件和系统硬件的扩展。基于原子力显微镜中的一个最基本的力一位移曲线功能，开发力学测试软件，实施单点、多点的力曲线测量，疲劳度测量和单线扫描四个测试功能，系统在硬件上增添微动平台，具有较大的横向位移，保证微纳结构尺寸的测试。相关测试表明，该软件具有较好的一致性和使用性，能方便地进行力学量的提取。