本文阐述了神经网络振动控制的基本原理，导出了控制算法，描述了控制系统构成，重点介绍了以ＰＣ４８６和ＴＭＳ３２０Ｃ２５ＤＳＰ组成的主从式系统硬软件设计。

概述了扫描隧道显微镜的工作原理，给出了采用压电材料的扫描控制方案及获取样品表面形貌信号的方法，介绍了系统中的ｚ扫描驱动器，ｘｙ扫描驱动器（扫描平台）及其非线性修正方法。