为了验证高数值孔径、大入射角、宽光谱的空间光学系统中偏振像差的存在,在激光数字波面干涉仪上对偏振像差进行了实验研究并做了数据分析。论述了偏振像差的两种计算方法,即偏振像差函数的二次扩展式和偏振光线追迹。用软件对激光数字波面干涉仪光学系统分别进行普通光线追迹和偏振光线追迹,PV值增加了33.59%。然后在该系统上对偏振像差进行了实验研究,PV值增加了34.48%。可以看出二者基本吻合。第一次在激光数字波面干涉仪上模拟了空间光学系统,并通过实验证实了改变入射光的偏振态可以改变系统的偏振像差。将实验测得的结果和软件模拟的结果比较后证实了光学系统中偏振像差的存在。

提出一种基于离轴法并采用椭圆光斑的光学微位移计量手段.模拟分析给出了椭圆光斑在线性度、灵敏度和动态范围等方面对探测性能带来的影响.基于这一微位移计量原理,在激光直写设备上制作了具有实用价值的圆光栅,这也表明半导体激光器可以取代传统的氦氖激光器并无需光斑整形.

为了验证高数值孔径、大入射角、宽光谱的空间光学系统中偏振像差的存在,在激光数字波面干涉仪上对偏振像差进行了实验研究并做了数据分析。论述了偏振像差的两种计算方法,即偏振像差函数的二次扩展式和偏振光线追迹。用软件对激光数字波面干涉仪光学系统分别进行普通光线追迹和偏振光线追迹,PV值增加了33.59%。然后在该系统上对偏振像差进行了实验研究,PV值增加了34.48%。可以看出二者基本吻合。第一次在激光数字波面干涉仪上模拟了空间光学系统,并通过实验证实了改变入射光的偏振态可以改变系统的偏振像差。将实验测得的结果和软件模拟的结果比较后证实了光学系统中偏振像差的存在。