微泵作为微流体系统中关键的执行器件，是微流体系统发展水平的重要标志。该文分析了近年来国内外出现的典型机械式微泵和非机械式微泵的工作原理、结构组成、优缺点，论述了微泵的加工制作技术以及国内外研究现状，最后对微泵的发展前景作了展望。

光流体技术，结合了光学系统和微流体系统，具有紧凑性、耐用性、灵活性以及低成本等优点，是微流体技术进一步发展的新方向。该文介绍了光流体技术的发展过程，重点阐述了光流体技术在生物医药、图形图像学、能源开发等领域的应用及其最新的研究进展，并简要论述了光流体技术未来的发展方向和面临的挑战。