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微波器件钎焊气密封装工艺设计

作者: 姚友谊 胡蓉 许冰 来源:电子工艺技术 日期: 2022-02-21 人气:108
微波器件钎焊气密封装工艺设计
研究了一种可应用于微波器件气密封装的钎焊工艺设计。采用有限元仿真软件计算了搭接型微波器件钎焊封装模型,以Sn63Pb37焊料钎焊外引线和盖板为基础,探索出钎焊密封的边界条件和适当的工艺参数并延伸拓展。试验证明,能够实现盒体与盖板的气密性钎焊封装且不影响后续喷涂工艺。使用扫描电镜对焊缝进行检查,焊缝致密无空洞,金属化层厚度约1μm。应用钎焊密封的微波器件,其性能指标在封装前后无变化。
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