光栅多普勒纳米干涉仪
用横向塞曼激光作光源构成的Dammann光栅多普勒干涉仪有利于降低热膨胀影响,测量过程中干涉臂长不变、便于克服折射率漂移,具有0.7nm分辨率。分析了光栅退偏效应的影响,与差动双频激光干涉仪进行了比对。实验结果表明,光栅间距光学8细分等间隔,当光栅栅距为20μm时其测量非线性误差不超过25nm。
高精度滚转角干涉仪
提出了一种基于横向塞曼激光器的新的滚转角测量系统.该系统在已有技术的基础上,将测量放大倍率又扩展了4倍,从而大大提高了滚转角的测量精度.系统以横向塞曼激光器出射的正交线偏振光作为测量光,首先经1/4波片将线偏振光变成微椭圆偏振光(即进行微椭偏化),然后测量光通过作为传感器的1/2波片,由直角反射镜将光路折回,使测量光再次通过作为传感器的1/2波片.由于直角反射镜提供了合理的坐标变换,所以使得测量光在两次通过1/2波片时,偏振方向的改变被叠加了,相当于被测量的滚转角放大了4倍.最后测量光经检偏器合成,再用光电探测器接收.由测量光的相位变化可以求出工作台的滚转角变化.在整周期内,测量光的相位变化与滚转角成非线性关系,但在特定的角度上会出现线性很好的滚转角测量灵敏度倍增区.采用这种方法,测量放大倍率可以达到200...
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