本文对国内外采用MEMS技术检测爆炸物的方法进行了分类，主要将其分为测温法、位移法、压阻法、谐振法等，分别介绍了它们的检测原理，分析了在灵敏度、选择性、抗环境干扰能力、系统集成与小型化等方面它们各自的潜在优势以及不足之处。同时，对近十年来该研究领域的进展和现状作了简要回顾，这些研究目前基本上都还处于实验室阶段，在真正达到实用化前还需要解决选择性、稳定性、抗环境干扰等技术难题。

在传统非对称冷热梁结构横向热执行器的基础上,提出了一种能实现双向横向运动的热执行器.采用对称结构设计,主要由折叠柔性梁、直柔性梁、宽梁和连接梁构成,通过选择加热臂,可以控制结构的偏转方向,实现双向推挽运动.在典型尺寸下,仿真结果显示,在20 mW驱动作用下,产生的末端位移9.55 μm,驱动力9.4μN,其性能与单向横向执行器相当.同时还进行了结构优化分析.