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> 徐藻
双光子三维微细加工的进展
作者:
袁大军
蒋中伟
徐藻
郭锐
王翔
黄文浩
夏安东
褚家如
来源:
纳米技术与精密工程
日期: 2023-08-14
人气:5
介绍了双光子微细加工的原理及特点,总结了国内外在三维微结构、三维功能器件以及新型材料双光子微细加工的一些进展.同时介绍了作者在双光子三维微细加工研究中取得的一些研究结果.
关键词:
双光子激发
飞秒激光
微细加工
激光加工
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