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双光子三维微细加工的进展

作者: 袁大军 蒋中伟 徐藻 郭锐 王翔 黄文浩 夏安东 褚家如 来源:纳米技术与精密工程 日期: 2023-08-14 人气:5
双光子三维微细加工的进展
介绍了双光子微细加工的原理及特点,总结了国内外在三维微结构、三维功能器件以及新型材料双光子微细加工的一些进展.同时介绍了作者在双光子三维微细加工研究中取得的一些研究结果.
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