纳米计量不仅提供测量和表征纳米材料及器件基础,同时在纳米生产工艺控制和质量管理领域也扮演重要角色.纳米技术就某种意义上讲就是实现原子或分子操作的超精细加工技术.纳米科技的各个领域都涉及对纳米尺度物质的形态、成分、结构及其物理/化学性能(功能)的测量、表征.纳米测量在纳米科技中起着信息采集和分析的不可替代的重要作用.纳米测量技术包括纳米级精度的尺寸和位移的测量,纳米级表面形貌的测量以及纳米级物理与化学特性测量.目前迫切需要解决的问题有微电子、超精密加工中线宽、台阶、膜厚等测量问题、纳米材料中的粒子特征测量问题和作为纳米科技主要测量和操作工具的扫描探针显微镜(SPM)、扫描电子显微镜(SEM)等的特性表征和测量准确度评定.文章重点评述了国际上为建立可溯源于国际基本单位制(SI)的纳米计量体系努...

介绍 集成器件制造商试图清晰的区别制造问题和设计错误.物理错误-阻性过孔、金属层间短路等等问题通常属于制造问题.非物理错误-时序问题、逻辑错误等等问题通常是设计队伍的问题.之所以要清晰的定义这两类责任是因为业界将工作分为制造和设计.随着晶体管物理尺寸不断缩小工艺的变化性使设计和制造问题的区分更为困难.成品率问题尤其是那些与速度、电压或温度敏感性相关的问题可能并不是加工错误或设计缺陷直接导致的,但是不可否认设计的某些领域正面临比预期更大的工艺不确定性.这种"软缺陷"几乎不可能在投产前的验证中为其建立模型,却可能导致致命的成品率降低.