通过薄膜应力理论及简单边界效应理论，分析并求出了轴对称旋转薄壳几何不连续处的应力计算公式及所需满足的条件。在此基础上，对不等厚筒体三种过渡段壁厚变化梯度进行了分新，得出了相应的结论。

针对微电子机械悬臂梁废品率高的问题,从悬臂梁的加工工艺,分析了在不同工作状态,薄膜应力对悬臂梁的刚度影响;建立了薄膜应力的数学模型;通过仿真发现,在悬臂梁的某些加工温差段,悬臂梁的刚度出现奇异值,变形已不再满足小变形条件的现象;得出某些加工温差段的薄膜应力是导致悬臂梁产生废品因素之一的结论.