根据针尖的形状和各项参数进行了TMX2000型原子力显微镜载荷、粘附力、法向力、横向力及其摩擦力的标定.其标定结果为:载荷Fl=0.073×(Ilm-Il0)/Sn×N·m-1 ,横向力Ft=0.156×It/Sn×N·m-1,摩擦力Ff=0.078×(It+-It-)/Sn×N·m-1

在Si（100）基片上制备了十八烷基三氯硅烷（OTS）分子润滑膜，并用原子力显微镜（AFM）对比研究了施加OTS膜前后的硅表面的粘附、摩擦磨损性能。试验考虑了相对湿度和扫描速度对粘附、摩擦性能的影响。结果表明，相对于硅构件来讲，OTS膜表面粘附力较小，具有较小的摩擦因数，呈现较好的润滑性能；硅构件受湿度变化的影响比OTS膜明显。微构件的摩擦性能由于水合化学作用生成Si（OH）。润滑膜，使得其受相互间运动速度影响很大。OTS膜不仅是一种耐磨性较好的润滑膜，而且有良好的稳定性。

利用原子力显微镜在纳米尺度上观察了光盘（CD）和数字通用光盘（DVD）的表面微观结构，对沟槽间距、摆动幅度等参数进行了测量，进而就这些参数对存储性能的影响进行了分析。实验结果显示：CD-R和DVD-R光盘上以连续的沟槽取代坑，并组成螺旋状的轨道，DVD-R光盘的信息存储密度更大。光盘轨道间距的变化范围是摆动幅度的4倍。写入后，沟槽的深度明显变深。实验结果同时表明，利用AFM能直接测量光盘上信息位的形貌参数，进而找出影响光盘质量的直接因素。