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> 子孔径拼接
使用子孔径拼接法检测大口径光学元件
作者:
张蓉竹
杨春林
许乔
蔡邦维
来源:
光学技术
日期: 2023-05-05
人气:6
为了解决大口径光学元件检测过程中成本高、空间分辨率低这两个主要难点,提出了使用小口径、高精度干涉仪分次检测大口径元件,然后通过优化算法将检测结果进行拼接处理,最终得到原大口径元件波前信息的方法,并作了初步的拼接模拟实验,确认了这一方案的可行性.
关键词:
大口径光学元件
子孔径拼接
最小二乘法
检测
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