为了完善金刚石膜生长工艺，对衬底温度进行测量和控制，采用基于C8051F020单片机的热电偶多区域测量系统来收集EACVD设备的衬底温度。对测温的机械机构、电路方案及软件流程进行了详细的设计。经过验证该系统测温准确，效果良好。