以ＡＦＭ测量的表面微观形貌为基础，采用数值仿真技术，定量地分析光探针直径对表面微观形貌测量的影响。结果表明：评定参数Ｒａ，Ｒｑ，Ｒｙ，Ｒｚ，Ｒｋｕ以及平均轮廓斜率和最大轮廓斜率都随光探针直径的增加而减小，Ｒｓｍ随光探针直径的增大而增大，而Ｒｓｋ不随光探针直径单调变化。

本文在对高精度光学非球面摆臂式扫描测量方法简要介绍的基础上,建立了高精度接触式扫描测头的结构模型,详细分析了扫描速度对测量精度的影响规律。在此基础上,利用建立的摆臂式扫描测量系统对500mm口径,相对口径11的深型球面镜进行了相关测量实验并与干涉测量结果进行了比对。实验验证了上述分析的正确性。

提出了利用狭缝进行三维轮廓测量的共焦测量方法,应用数字图像处理的方法解决了测量中的有效点标定问题,并通过硬币图案花纹的测量对该方法进行了验证.

提出可用于物体轮廓在线抗振测量的双无衍射光束三角测量系统.系统以双无衍射光束作为测量光束，结构简单灵活.给出了系统结构及原理，推导了相关算法，并在振动条件下进行了实验.结果说明，该系统能有效地去除振动噪声的影响.