利用改进的洛埃镜干涉装置设计了由直线度误差使洛埃镜偏转通过改变等效双狭缝间距进而改变干涉条纹间距的新的直线度误差测量方法.由导出的直线度误差与干涉条纹间距之间的关系并用最小包容区域法对直线度误差进行评定.测量结果表明新的直线度误差测量方法是可行的.此方法特别适用于短距离连续空间直线度误差的测量并且测量系统具有结构简单、操作方便、精度高、应用范围广等优点.

设计和制作具有较高波前平面度和结构稳定的干涉曝光系统是研制高质量平面全息光栅的首要条件。对离轴抛物镜/洛埃镜系统、单透镜/洛埃镜系统、球面反射镜/洛埃镜系统和双分离透镜/洛埃镜系统等4种单反射镜干涉曝光系统产生的干涉条纹直线度进行了光线追迹。在干涉场中放置标准光栅,使用于曝光的两束平行光入射到光栅上,从而衍射光相干叠加产生莫尔条纹;并对上述4个系统产生的莫尔条纹做了模拟。利用Zernike多项式对莫尔条纹进行拟合得到干涉曝光系统的波前像差,比较了4个系统的差异。结果表明,采用离轴抛物镜/洛埃镜系统制作中、小口径平面全息光栅是最为合适的。在此基础上,研制了用于制作最大尺寸为110 mm×110 mm,刻线密度〉1 200 l/mm的平面全息光栅的离轴抛物镜/洛埃镜干涉曝光系统,在洛埃镜和离轴抛物镜面形精度为λ/8（λ=632.8 nm...