分析了微机电系统中静电-结构耦合的拉入(pull-in)特性,比较了牛顿迭代法、松弛法、有限元/边界元混合法等方法求解静电-结构耦合问题的各自特点。

抓爬式致动器（SDA）是获得可控微位移微电机械当中的核心部件，考虑驱动器件在电场力作用下的耦合相互作用，在变形计算中为了保证计算易于收敛和用变形控制电压加载方式，采用增量型的有限元格式。同时，为考虑边缘效应和电场的非区域效应，在静电场计算中采用矩量法，并把数值模拟的结果与解析解进行了比较，结果显示文中的数值结果与解析解在吸入临界值的预测中存在较大的差异，文中的结果更接近实验值。

力学场与电场造成的场耦合下，微构件材料的力学行为的研究有重要的意义．用自制的微拉伸装置，通过对不同电流作用下的直径为20m的316L微构件进行拉伸实验，发现微构件在拉伸作用下出现明显的塑性变形；力学性能与宏观性能有所不同，出现了小尺寸效应；不同电流作用下，微构件的弹性模量和拉伸强度随电流的增大而降低，获得了可靠的设计参数．