提出了基于相干波面光强分布的静态干涉图数字处理的新方法,即在CQG-Ⅱ型激光数字波面干涉仪上通过分别微调参考镜和被测镜的倾斜量,在CCD探测器上获得形成静态干涉图的两幅相干波面光强分布图,利用这两幅光强分布图与它们所形成的干涉图,可高精度地完成静态干涉图的数字分析.利用相干原理,给出了实现该方法的基本过程,并编程实现了该数字分析,获得了实验测量结果.通过与相移测量结果相比较,验证该方法对口径为60mm的平面有望达到的测量精度.

讨论了一种新的干涉图处理方法，能实时快速准确地提取干涉图信息，直接测量波面的位相分布，获得较高的位相分辨率和空间分辨率，使光学波面的检测精度达到λ／１００以上，并且实现了波面的的实时显示。